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1、加熱系統
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z高溫度
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1200℃
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使用溫度
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≤1100℃
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爐膛有效尺寸
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φ50/φ100mm（爐管直徑可根據實際需要定制。）
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爐膛材料
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氧化鋁、高溫纖維制品
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熱電偶類型
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K型熱電偶
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控溫精度
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±1℃
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控溫方式
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30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7/10寸工控電腦內置PLC控制程序。
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加熱長度
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230mm/440mm
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恒溫長度
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100mm/200mm
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加熱原件
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電阻絲
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供電電源
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單相，220V，50Hz
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2、PE射頻電源
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功率輸出范圍
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0W~150/500W
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z大反射功率
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100W
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射頻輸出接口
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50 Ω, N-type, female
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功率穩定度
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≤5W
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諧波分量
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≤-50dbc
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供電電壓
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單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ
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整機效率
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>=70%
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功率因素
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>=90%
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冷卻方式
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強制風冷
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功率輸出范圍
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0W~150/500W
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z大反射功率
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100W
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3、PECVD系統的三路質子流量控制系統
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連接頭類型
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雙卡套不銹鋼接頭
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標準量程（N2)
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50sccm，100sccm、500sccm（可根據用戶要求定制）
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準確度
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±1.5%F.S
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線性
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±1%F.S
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重復精度
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±0.2%F.S
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響應時間
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氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
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工作壓差范圍
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0.1～0.5 MPa
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z大壓力
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3MPa
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接口
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Φ6,1/4''
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顯示
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4位數字顯示
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工作環境溫度
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5~45高純氣體
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壓力真空表
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－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
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截止閥
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Φ6
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內外雙拋不銹鋼管
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Φ6
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連接頭類型
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雙卡套不銹鋼接頭
https://www.chem17.com/st235110/product_36409473.html
http://www.ahbeiyike.com/ParentList-684448.html
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4、低真空機組
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