我們都知道，我國的半導(dǎo)體和芯片行業(yè)一直受到美國的壓制。電子級硫酸在芯片制造工藝中是用量z大的電子化學(xué)品，在大規(guī)模集成電路、LED顯示器、平板顯示器等電子工業(yè)中有著大量的應(yīng)用。因此電子級硫酸也屬于需要突破的“卡脖子”產(chǎn)品中的一員。我國之前電子級硫酸完全依賴與巴斯夫等外企的進口，電子級硫酸的要求比普通硫酸的要求高很多，它的金屬離子必須達到PPT級別，對雜質(zhì)含量、純度要求極高，國內(nèi)企業(yè)多是以工業(yè)硫酸生產(chǎn)為主。

經(jīng)過幾年的研究，我國電子級硫酸的品質(zhì)已經(jīng)達到了國內(nèi)領(lǐng)先、世界一流的水平。作為集成電路制造業(yè)、封裝測試業(yè)以及整機裝配業(yè)原料供應(yīng)的上游行業(yè)，高規(guī)格的電子級硫酸自然供不應(yīng)求，但是想要搶占國內(nèi)外市場，就必須以標準為導(dǎo)向，建立起完善的規(guī)則制度。因此我們就來給大家介紹一下電子級硫酸的化工原料檢測標準。

為了技能滿足國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)及使用企業(yè)的生產(chǎn)、使用需求，可以將電子級硫酸產(chǎn)品按純度劃分為五個等級，分別為EL、VL、UL、SL和XL。在具體的指標上，對硫酸含量、外觀、色度、不同粒徑顆粒的個數(shù)、氯化物、硝酸鹽、磷酸鹽、銨鹽、還原高錳酸鉀物質(zhì)及金屬雜質(zhì)等共 35 個項目有具體的要求。

一般來說，如果電子級硫酸用于電子硅晶片的制造過程，則需要對其中的金屬和非金屬雜質(zhì)陽離子進行嚴格的控制，在進行化工原料檢測時要尤為注意。因為硅圓片上存在的不溶性固體顆粒或金屬離子可能導(dǎo)致電路之間導(dǎo)電，引起短路。如果是鈉、鈣等堿金屬雜質(zhì)會融進氧化膜中，導(dǎo)致耐絕緣電壓下降，當硅圓片表面附著有銅、鐵、鉻、銀等重金屬雜質(zhì)時，會使P-N結(jié)耐電壓降低，影響大規(guī)模集成電路電性能，硼、磷、砷等雜質(zhì)離子會影響擴散劑的擴散效果，塵埃顆粒會造成光刻缺陷，氧化層不平整，影響制版質(zhì)量和等離子蝕刻工藝。因此，新標準對各種金屬和非金屬雜質(zhì)陽離子質(zhì)量分數(shù)都做了明確要求。

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