質量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節(jié)閥等部件組成。

    質量流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。主要用于擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造等設備中。

       MC系列數字式質量流量控制器可通過定制化的比例調節(jié)閥測量與控制過程氣體的質量流量、體積流量和壓力，還可同時測量并顯示氣體溫度。其內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動，充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。
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