質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。
質(zhì)量流量控制器用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。主要用于擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造等設(shè)備中。
MC系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可通過定制化的比例調(diào)節(jié)閥測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力，還可同時(shí)測量并顯示氣體溫度。其內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)，充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。
http://www.crzdh.cn/
手機(jī)：15079073353
電話：0791-82328276
質(zhì)量流量控制器用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。主要用于擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造等設(shè)備中。
MC系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可通過定制化的比例調(diào)節(jié)閥測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力，還可同時(shí)測量并顯示氣體溫度。其內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)，充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。
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