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質(zhì)量流量控制器還可自動控制氣體流量

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2022-06-15 10:58:48  瀏覽次數(shù):150
核心提示:質(zhì)量流量控制器即Mass Flow Controller (MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,還可自動控制氣體流量,用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度
質(zhì)量流量控制器即Mass Flow Controller (MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,還可自動控制氣體流量,用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。氣體質(zhì)量流量單位一般以 SCCM ( Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute)來表示,亦即每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升、每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。

       熱式質(zhì)量流量計直接測量流體質(zhì)量流量,輸出質(zhì)量流量信號,無需其他設(shè)備,如溫度測試儀和壓力表,也無需進(jìn)行換算。其本身無類似轉(zhuǎn)軸等的移動部件,增加了本身的可靠性,無需機(jī)械維護(hù)。可以測量微小流量,采用分流裝置,又可以測量大流量,而且溫度,壓力范圍大。質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出,還可以實現(xiàn)流量的自動控制。
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手機(jī):15079073353
電話:0791-82328276

 
 
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